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Nd:YAG激光清洗器特点

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Nd:YAG激光清洗器特点

【摘要】:
在使用Nd:YAG 三倍频激光清洗镀膜的K9玻璃表面的实验中,实验结合实际的某大型激光装置运行过程中出现的光学表面污染问题,在污染物的选择上,主要选用油脂作为实验中的污染物,最终实验结论表明使用 Nd:YAG 三倍频激光照射被污染的化学膜层,在同等能量照射下,脉冲数越多,污染物面积越少;而在相同脉冲数下,照射能量越高,污染物面积越少,低能量、多次脉冲与高能量、一次脉冲可以达到相同的清洗效果。

(1)它属于四能级系统,量子效率高,受激辐射界面大。阈值远远低于红宝石和钕玻璃。

(2)具有良好的热稳定性能,热导率高,热膨胀系数小。适用于脉冲、连续、高重复率等多种器件。是目前能在室温下连续工作的、较为实用的固体工作物质。

(3)YAG 晶体各向同性,硬度大,化学性能稳定。易于制成高稳定度要求的器件,它已成为当前应用最为广泛的主要固体工作物质。

(4)Nd:YAG 器件已广泛用于材料加工,除了在激光打孔、焊接、热处理、打标、书写、动平衡等加工中应用外,它还能在微细加工领域获得广泛应用,尤其是大规模集成电路的加工,已显示出它独有的优越性。

在使用Nd:YAG 三倍频激光清洗镀膜的K9玻璃表面的实验中,实验结合实际的某大型激光装置运行过程中出现的光学表面污染问题,在污染物的选择上,主要选用油脂作为实验中的污染物,最终实验结论表明使用 Nd:YAG 三倍频激光照射被污染的化学膜层,在同等能量照射下,脉冲数越多,污染物面积越少;而在相同脉冲数下,照射能量越高,污染物面积越少,低能量、多次脉冲与高能量、一次脉冲可以达到相同的清洗效果。

我国在这方面的研究刚刚开展,目前虽然还难以详细估计激光清洗技术的应用市场份额。但上述领域不少属于国民经济的支柱产业,激光清洗技术渗入其中后,产生的经济效益和社会效益是十分可观的。利用我国现有的激光技术条件,开发配套的激光清洗设备。并使其在短时间内实用化、产业化是完全可能的,对推动高新技术产业的发展本身亦具有重要而深远的意义。